Beiträge zur Verringerung der Positionierunsicherheit

Inhalt "Beiträge zur Verringerung der Positionierunsicherheit":

In dieser Dissertation werden Maßnahmen zur
Verringerung der Positionierunsicherheit einer
Nanopositionier- und Nanomessmaschine vorgestellt.
Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x
5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Zur
Verringerung der Temperaturempfindlichkeit wurden die
zur Längenmessung verwendeten
Planspiegelinterferometer konstruktiv verändert.
Zudem werden die vertikalen, elektrodynamischen
Antriebssysteme durch eine neuartige
Gewichtskraftkompensation stärker entlastet und die
Temperaturstabilität in der Messkammer durch eine
verbesserte Klimaregelung erhöht. Durch die
veränderte Lagerung einer neu konstruierten,
monolithischen Messspiegelecke treten verkleinerte
Oberflächenabweichungen auf. Die Unsicherheit für die
Bestimmung von Winkelabweichungen bei der Bewegung
der Messspiegelecke wurde deutlich verkleinert. Die
bei Verkippung des Messobjektes entstehenden
Längenmessabweichungen erster und zweiter Ordnung
werden dadurch reduziert.